Mikrosystemtechnik II

Pflichtmodul im 1. Fachsemester

Voraussetzung

  • Grundkenntnisse in Werkstoffe und Technologien der Elektrotechnik
  • Physik

Inhalt

  • Basistechnologien der Mikrosystemtechnik,
  • neue Materialien in Medizin-, Umwelt- und Sensortechnik, Sensoreigenschaften,
  • Spezielle Messtechniken,
  • Von der Makro- zur Nanotechnologie, Anwendungsbeispiele und Fertigungsmethoden
  • Fertigungsmethoden für elektro- und optochemische Sensoren, Biosensoren,
  • Sensor-Aktuator-Systeme, Applikationsbeispiele
  • Projekte: z.B. optisch schaltender Wasserstoffsensor

Literatur

  • W. Menz, J. Mohr, O. Paul: Microsystem Technology,
  • Wiley-VCH, Weinheim, NY, 2001
  • J. Frühauf: Werkstoffe der Mikrotechnik,
  • Fachbuchverlag Leipzig, 2005
  • M. Köhler: Nanotechnologie,
  • Wileay-VCH, Weinheim, NY, 2001
  • W. Göpel, J. Hesse, J. N. Zemel, (Hrsg.): Sensors,
  • Wiley-VCH, Weinheim, NY, 1991
  • Arbeit mit Literatur- und Patentdatenbanken (z.B. INSPEC, ESPACNET)

Dozentin

1 SWS Vorlesung
1 SWS Seminaristische Übung
1 SWS Übung
1 SWS Praktikum

Prüfung
120 min. schriftlich 
oder 20 min. mündlich

Wert
5 Credits